進(jìn)口PI微平移位移臺M-105 • M-106

微平移位移臺M-105 • M-106

精密交叉滾子導(dǎo)軌，PiezoMike選項，XY(Z)組合

行程達(dá)18毫米

XY和XYZ組合

PiezoMike可供選擇，分辨率為10納米

全不銹鋼構(gòu)造

分辨率達(dá)0.1微米

可供選擇的電機(jī)驅(qū)動器

描述

M-105和M-106線性平臺可提供X、XY和XYZ配置，行程可長達(dá)18毫米。它們采用交叉滾柱軸承，導(dǎo)向精度優(yōu)于2微米。支架上施加預(yù)載來抵住帶彈簧的精密千分絲杠，用于抑制空回。

在XYZ版本中，Z軸安裝轉(zhuǎn)接支架，使負(fù)載作用在彈簧預(yù)載的方向上。

應(yīng)用領(lǐng)域

手動樣本操縱。

訂購信息

M-105.10 微平移位移臺，18毫米

M-105.11 微平移位移臺，18毫米，帶可鎖定測微計驅(qū)動器 M-105.1B 微平移位移臺，無驅(qū)動

M-105.1P 微平移位移臺，18毫米，PiezoMike驅(qū)動

M-105.20 XY微平移位移臺，18毫米

M-105.2B XY微平移位移臺，無驅(qū)動

M-105.2P XY微平移位移臺，18毫米，PiezoMike驅(qū)動

M-105.30 XYZ微平移位移臺，18毫米（帶M-009.10支架用于側(cè)向安裝）

M-105.3BA XYZ微平移位移臺，無驅(qū)動（帶M-105.VB1支架）

M-105.3BB XYZ微平移位移臺，無驅(qū)動（帶M-009.10支架）

M-105.3P XYZ微平移位移臺，18毫米，PiezoMike驅(qū)動（帶M-009.10支架用于側(cè)向安裝）

M-106.10 微平移位移臺，5毫米，差動測微計驅(qū)動器

M-106.20 XY微平移位移臺，5毫米，差動測微計驅(qū)動器

M-106.30 XYZ微平移位移臺，5毫米，差動測微計驅(qū)動器（帶M-009.10支架）

進(jìn)口PI微平移位移臺M-105 • M-106